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净化工艺管道
净化工艺管道是一种净化处理方式，用于与室内空气环境隔绝的管道中，把需要超高洁净度级别的工艺生产线，放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式，叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的，高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。此外，这种方式由于被净化的是管道中的空气，送、回风量很小，可以大幅度地节约能量，是洁净技术的发展方向，也被称为第四代净化方式。
净化工艺管道技术已经比较成熟的是全室净化、局部净化(包括全室净化和局部净化相结合)以及洁净隧道三种净化处理方式，工程设计中应结合具体情况选择其中一种或两种净化方式作为设计方案。在满足工艺要求的条件下，应尽量选用局部净化方式。局部净化采用局部净化设备，在一般空调环境中实现。由于局部净化设备一般均由专业工厂生产，设备质量高，又可加快现场施工速度，在改建工程中可以优先考虑这种方案。
净化工艺管道是在当净化方式均不能满足工艺要求时，全室净化的净化方式作为设计方案。这种方式要造成全室具有相同的洁净度，特别是洁净度级别高时，初投资和运行费用都很高，洁净室的面积应严格加以控制。
